关于《半导体器件 微电子机械器件 第6部分：薄膜材料轴向疲劳试验方法》标准立项的发展报告.docx

关于《半导体器件微电子机械器件第6部分：薄膜材料轴向疲劳试验方法》标准立项的发展报告

摘要

本报告旨在阐述《半导体器件微电子机械器件第6部分：薄膜材料轴向疲劳试验方法》国家标准立项的必要性与重要性。该标准旨在填补国内在微电子机械系统（MEMS）薄膜材料轴向疲劳性能测试领域的标准空白，通过等同采用国际电工委员会（IEC）标准，规范和统一试验方法。其制定将直接服务于MEMS器件的可靠性设计与制造，对提升我国相关产业的产品质量、技术竞争力以及完善标准体系具有深远意义。

要点列表

*填补空白：解决国内MEMS薄膜材料轴向疲劳试验方法标准缺失的问题。

*国际接轨：采用翻译法，等同采用