Entegris Integra Plus WS 3⁄4 、1 和 1 1⁄4 阀门 说明书.pdf

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¾11¼Integra®

PlusWS

CMP

Entegris为您提供专为化学腐蚀性半导体处理应用而设计的完整阀门

解决方案。Integra®Plus屋脊式(WS)阀门为客户提供了一个可靠的

选择方案,在化学机械研磨(CMP)和大宗化学品输送应用中进行研

磨液和超纯化学品配送。

清洁流体通路

IntegraPlusWS阀门采用屋脊式阀门体设计,简化了流体通路,消

除了死角。这种简化的设计结合高纯度、耐化学PFA和PTFE结构,

可确保流体通路清洁且无污染物。一体式PTFE隔膜消除了可能的分

割,延长了阀门

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