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金属微滴喷射微通道成型模拟及实验.pdf

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    摘要

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    近年来随着高性能计算机、服务器、数据中心、航空航天、微电子领域的快速发展，

    对于一些高密度、大功率和集成度高的系统所使用的零部件来说，金属微滴沉积制造

    技术因其在微结构制造中的潜在应用而受到广泛关注。为了制造微通道散热器和微通

    道反应器等部件，本文仿真了微滴与基底之间以及微滴本身之间的相互作用和影响。

    分析了金属微滴与基底接触并形成斜柱时的瞬态现象，以及微滴之间碰撞时的固液耦

    合和形态形成过程。特别研究了微液滴

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