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基于电磁驱动的跨尺度微碰撞驱动器设计.pdf

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    摘要

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    域进一步发展的重要技术之一。上述领域应用中常需要兼顾高精度分辨率、长行程位

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    备长行程运动、高精度位移分辨力以及紧凑的结构仍是目前跨尺度精密驱动技术领域

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