深度解析(2026)《YST 1235-2018钼钛合金（MoTi）靶材》.pptxVIP

;目录;;;（二）标准制定的技术背景：钼钛合金靶材应用扩展催生哪些技术诉求？;;;;（二）材料成分范围：钼钛合金中钛含量区间是否在标准覆盖范围内？;（三）非适用情形说明：哪些情况的钼钛靶材可不受本标准约束？;;;（二）按形态分类：平面靶与旋转靶等形态在标准中有何不同标识？;牌号由“MoTi”+钛含量百分比组成，如MoTi10表示钛含量约为10%的钼钛合金靶材。这种命名规则简洁明了，用户可通过牌号直接知晓靶材的主要成分信息，便于选型和质量把控，提升行业沟通效率。;;标准明确了钼钛合金中钼和钛的主成分含量及允许偏差。钛含量不同，偏差范围略有差异，一般在±0.5%-±2%之间，具体需依据牌号确定。严格控制主成分偏差，确保靶材性能稳定，满足镀膜工艺需求。;;;;;采用布氏硬度或维氏硬度测试方法，不同牌号靶材硬度要求不同。如某牌号布氏硬度不小于200HBW，维氏硬度不小于210HV。硬度指标反映靶材的致密性和耐磨性，关系到靶材的使用寿命和溅射性能。;;;;;;;超声波探伤要求：探伤方法灵敏度及缺陷判定等级是什么？;（二）内部疏松与夹杂评定：如何量化评估靶材内部的疏松程度？;;;取样规则：不同试验项目的取样数量部位及方法有何规定？;;;;;;;;对生产企业的影响：标准实施如何倒逼企业提升生产工艺与质量管控？;统一标准使下游企业采购到质量稳定的靶材，降低采购风险和成本。稳定的靶材质量保障了下游半导体显示面板等产品的性能一致性，提升下游产业的产品竞争力，促进供应链协同发展。