磁悬浮平台优化设计与控制.pdfVIP

摘要

摘要

随着现代科学技术和社会生活的不断发展，各种机电设备中对于芯片的需求日益

增大，光刻机、高端集成电路等制造系统的控制精度和生产效率亟待提高。高端制造系

统中目前采用的是洛伦兹力驱动的定位平台，因其驱动力密度受限，进一步提高生产

效率也受到极大限制。磁阻力驱动的磁悬浮平台相较于洛伦兹力驱动平台，具有驱动

力密度高、功耗小等优点，可以进一步的提高系统带宽。然而如何更大限度提升磁悬浮

平台电磁驱动力密度的问题，以及外界激励接近平台一阶谐振频率发生共振和在各种

限制因素下提高系统带宽实现高速高精的运动控制等问题，限制了磁悬浮平台进一步

广泛应用，因此需要研究磁阻力驱动型磁悬浮平台。本文以单自由度磁阻力驱动型磁

悬浮平台为研究对象，重点研究了磁阻力驱动型电磁铁的优化设计、磁悬浮平台的优

化设计以及控制系统各环节限制因素等问题，最终实现单自由度磁悬浮平台高速和高

精度运动。论文的主要研究内容如下：

论文介绍了单自由度磁悬浮平台的基本原理，通过对位移传感器和功率放大器的

校核，建立位移传感器、功率放大器、电磁铁及单自由度磁悬浮系统的数学模型，为后

续运动控制器的设计和验证奠定基础。

为了提升单自由度磁悬浮平台的电磁铁驱动力密度，基于常见电磁铁的工作原理，

建立了圆柱型电磁铁的电磁力模型，研究该类电磁铁的改进方法。选择高磁导率的铁

磁材料，基于电磁场分析软件，对平台用电磁铁及相关结构进行设计优化，根据结构要

求，对绕线参数、磁路参数、漆包线经、匝数等关联参数做出相应优化设计计算。

为进一步提升单自由度磁悬浮平台的固有频率，降低电流改变出现的周期性电磁

力扰动的影响，论文分析常见平台一阶固有频率，为降低共振干扰平台精度的影响，利

用三维有限元软件进行模态分析，同时进行模态实验采集真实场景下平台的模态数据

对比验证有限元方法的准确性。以实验平台为研究对象，提高平台一阶固有频率为研

究目标，通过拓扑优化方法，优化磁悬浮实验平台结构，根据优化方法对优化后的模型

进行重建分析，完成实验平台的刚度及质量优化。实验结果表明，该方法可以有效提高

平台的固有频率。

为进一步提高单自由度磁悬浮平台的动态性能，通过分析单自由度磁悬浮平台的

基本原理及数学模型，研究了模型参数对控制器变化及控制效果的影响，同时分析了

磁悬浮平台中各环节带宽的作用及参数变化对带宽的影响，并设计了针对单自由度磁

悬浮平台的PD控制器，采用扩张状态观测器补偿未知扰动，对比了不同控制器的控制

效果，实验结果表明此方法可以对类似非线性系统有效补偿，且具有良好的抗扰能力，

能够显著提升单自由度磁悬浮平台的动态性能。

通过本文的研究，推导了位移传感器、功率放大器、电磁铁及单自由度磁悬浮系统

的数学模型，建立了单自由度磁阻力驱动型磁悬浮平台的优化框架，并分析了各环节

I

西安工程大学硕士学位论文

限制因素对控制策略的影响。实验结果表明，论文优化方法显著提升磁悬浮平台的动

态性能。

关键词：磁悬浮平台；电磁铁优化；模态分析；固有频率；PD控制

论文类型：应用研究

II

ABSTRACT

ABSTRACT

Withthecontinuousdevelopmentofmodernscienceandtechnologyandsociallife,the

demandforchipsinvariouselectromechanicalequipmentisincreasingdaybyday,andthe

controlaccuracyandproductionefficiencyofmanufacturingsystemssuchaslithography

machinesandhigh-endintegratedcircuitsneedtobeimproved.Inhigh-e