POU纯化器，全球前13强生产商排名及市场份额（by QYResearch）.docx

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2025-12-26 发布于广东
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全球市场研究报告

POU纯化器是一种用于气体供给系统末端的设备，旨在去除气体中的有害物质、杂质或污染物，确保气体在最终使用质量符合应用需求。与传统的气体净化系统不同，POU气体纯化器通常安装在气体系统的最后阶段，直接连接至使用设备，确保纯净的气体在进入应用设备或系统时，已被净化至所需标准。POU纯化器主要由壳体、吸附滤料、滤芯、进出口接头等组成，其中接头类型有VCR、SW、NPT等，它广泛应用于Scanner，PVD/CVD，Etch，Implant等点位，特别在薄膜沉积环节，工艺气体作为薄膜原材料之一