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半导体器件和集成电路电镀工职业健康操作规程

文件名称：半导体器件和集成电路电镀工职业健康操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于半导体器件和集成电路电镀工在电镀过程中的职业健康操作。要求操作人员严格遵守国家相关法律法规和行业标准，确保人身安全、设备安全和环境安全。规程内容涵盖电镀前准备、电镀操作、电镀后处理等环节，旨在提高电镀工的职业健康水平，降低职业危害风险。

二、操作前的准备

1.个人防护：

操作人员必须佩戴适当的个人防护装备，包括但不限于：

-防护眼镜或面罩，防止化学物质溅入眼睛或面部。

-防护手套，根据电镀液性质选择合适的材质。

-防护服，确保身体不直接接触有害物质。

-防毒面具，用于吸入有害气体时使用。

-防滑鞋，以防在工作中滑倒。

2.设备检查：

-检查电镀设备是否处于良好工作状态，包括电源、控制系统、泵浦、加热系统等。

-确认电镀槽和管道无泄漏，防止化学物质外泄。

-检查电镀液成分和浓度是否符合要求，必要时进行补充或更换。

-检查安全设备，如紧急停机按钮、通风设备等是否正常。

3.环境检查：

-检查电镀车间通风系统是否有效，确保空气流通，降低有害气体浓度。

-检查地面是否干燥，防止滑倒事故。

-确认工作区域无障碍物，保持通道畅通。

-检查紧急疏散通道和消防设备是否易于访问和使用。

4.操作指导：

-仔细阅读电镀工艺流程和操作手册，确保理解每一步骤。

-熟悉紧急情况下的应急预案和操作流程。

-了解化学品的性质和潜在危害，以及相应的处理方法。

5.工具和材料准备：

-准备好所有必要的工具和材料，如清洗剂、擦拭布、废液处理容器等。

-确保所有工具和材料都处于良好的工作状态。

6.训练和授权：

-操作人员必须接受必要的职业健康和安全培训。

-完成培训后，需通过考核，获得相应的操作授权。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

a.首先进行设备检查，确保设备运行正常，无安全隐患。

b.然后进行个人防护装备的穿戴，按照规定佩戴防护眼镜、手套、防护服等。

c.接着进行电镀液的准备，包括调配、检查电镀液的成分和浓度。

d.进行工件预处理，包括清洗、干燥等，确保工件表面无油污、灰尘等杂质。

e.将工件放入电镀槽中，启动电镀设备，开始电镀过程。

f.电镀过程中，定期检查电镀液的状况，包括温度、pH值等。

g.电镀完成后，取出工件，进行后处理，如清洗、干燥等。

h.最后，清理工作区域，回收废液，进行废弃物处理。

2.作业方式：

a.操作过程中，严格按照操作规程进行，不得擅自更改。

b.操作时，保持专注，避免分心，确保操作准确无误。

c.使用工具时，注意握持方式，避免工具滑落造成伤害。

d.在进行电镀液调配或添加化学物质时，应佩戴防护手套和眼镜，防止化学品溅入。

3.异常处置：

a.如发现设备故障，立即停止操作，报告上级，并采取应急措施。

b.如电镀液出现异常，如颜色变化、泡沫增多等，应立即停止电镀，检查原因，必要时更换电镀液。

c.如发生化学品泄漏，立即关闭泄漏源，使用防护装备，进行清理，并通知相关部门。

d.如操作人员感到不适，如头晕、恶心等，应立即离开现场，寻求医疗帮助。

e.如发生火灾或爆炸等紧急情况，立即使用灭火器或其他灭火设备进行灭火，并迅速撤离现场，报警求助。

4.记录与报告：

a.操作过程中，详细记录操作参数、设备状态、异常情况等。

b.如发生任何异常情况或事故，应立即向上级报告，并填写事故报告表。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行平稳，无异常震动或噪音。

b.电镀液温度、pH值等参数在预定范围内，且稳定无波动。

c.电流、电压输出稳定，与设定值一致。

d.通风系统正常工作，无异味或有害气体泄漏。

e.供电系统稳定，无电压波动或断电现象。

f.控制系统响应迅速，操作指令执行准确无误。

2.异常现象识别：

a.设备出现异常震动或噪音，可能是由轴承磨损、机械故障等原因引起。

b.电镀液温度、pH值等参数超出正常范围，可能是由加热系统故障、电镀液污染等原因导致。

c.电流、电压输出不稳定，可能是由电源问题、电路故障等原因引起。

d.通风系统失效，可能是有害气体积累或通风设备故障。

e.供电系统不稳定，可能是由电网波动、设备过载等原因造成。

f.控制系统响应缓慢或错误，可能是由软件故障、硬件损坏等原因导致。

3.状态监测方法：

a.通过设备上的指示灯、显示屏等直接读取运行状态。

b.定期检查电镀液参数，使用p