量块双频激光干涉坐标测量系统的设计.pdfVIP

量块双频激光干涉坐标测量系统的设计姜志华，等

量块双频激光干涉坐标测量系统的设计

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DesignGaugeMeasuringSystem

BasedonLaserInterferenceCoordinateMeasurement

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善志华1魏勇2

(上海市计量测试技术研究院1，上海201203；上海大学机电工程与自动化学院2．上海200072)

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摘要：目前，对于尺寸小于300m的四等及以下的非标称尺寸量块可以采用高精度万能测长仪测量，而对于尺寸大于300

下非标称尺寸量块，则没有很好的测量方法。为此，提出了基于坐标测量机的双频激光干涉量块检定系统，对7∞Ⅻ三等量块进行测量并对

校准系统进行不确定度分析。通过与量块附带检定证书和盯G146．嬲量块检定规程的比对，验证了量块检定系统的准确性与可靠性。

关键词：传感器信号采集系统量块检定测量精度不确定度

中圈分类号：TH7Il文献标志码：A

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测量时，可动反射镜与被测对象固定连接在一起，并随

0引言

着移动机构平稳运动。通过可动反射镜相对于参考反

量块是用耐磨材料制造，并由一对相互平行测量射镜的位移来反映被测长度。该系统由工控机、激光

面构成的实物长度量具。由于量块的中心长度可以通头、固定反射镜、可动反射镜、被测t件、三坐标测量机

过干涉系统溯源至激光波长，因此量块被视为长度计移动工作台、温度传感器、三坐标测量机计算机控制系

量中最基本的实物量具之一”1。作为长度计量中的重统等组成。

要计量标准器，量块的检定一直是国家计量部门和各基于坐标测量机的双频激光干涉坐标测量系统结

级计量室的重要工作。构如图l所示。

量块检定的方法主要分为光干涉直接测量法和比

较测量法HJ。目前，对于尺寸小于300m