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模糊PID碳化硅微粉恒压供水系统牛丹，等

模糊PID碳化硅微粉恒压供水系统

FuzzyPID—basedConstantPressureWaterSupplyingSystem

forProductiveProcessofSiCUltrafinePowder

丰，丹周杏鹏陶篷姣2顾若2

(东南大学自动化学院，江苏南京210096；连云港乐园研磨厂，江苏连云港222003)

摘要：从SiC微粉生产流程的关键工艺需求人手，设计了硅微粉水溢流精密分级恒压供水系统。该系统以PLC为控制器，采用模糊

PID算法，确保了系统稳定可靠地运行。简要介绍了该系统的硬件设计结构，并重点阐述了其软件算法的实现过程。同时，使用组态

软件iFix开发监控软件系统，用来实现系统在线实时监控、参量历史查询、报警记录以及参数远程设定等功能。系统人机交互友好、

操作方便。

关键词：碳化硅微粉恒压供水组态软件模糊PID控制可编程控制器交流异步电机

中图分类号：TP273文献标志码：A

Abstract：StartedfromtherequirementsforcriticaltechnologicalprocessofproductionofSiCuhrafinepowderlthewatersupplysystemunder

constantpressureusedforwateroverflowingSiCuhrafinepowderprecisegradingprocessisdesigned．ThesystemiscontrolledbyPLC．anda-

doptingP1Dalgorithmtoensurestableandreliableoperation．Thehardwarestructureisintroducedbriefly；andthesoftwarealgorithmandits

implementingprocedureareemphasized．Inaddition，htemonitoringsoftwaresystemisalsodevelopedwihtiFixconfigurationosftwareofrimple·

mentirlgthefunctionsofonlinerealtimemonitoring。retrievinghistoricalparameters，alarmrecordandremoteparametersetting，etc．Thesys—

temoffersuser·friendlyinterfaceforeasyoperation．

Keywords：SiCuhrafinepowderConstnatpressurewatersupplyingConfiugrationsofwtareFuzzyPIDcontrolProrgammbalelogiccontroller

ACasynchronousmotor

O引言l系统工艺概述

电子信息产业及太阳能光伏产业是当前国民经济磨料磨具产业的硅微粉产品对于分级精度和一致

的重要增长点，而硅晶片加工业对这两大产业的发展性要求性很高。这是因为其分级精度直接决定了硅微

具有重要的影响。目前，硅晶片线切割使用的碳化硅粉产品的等级、档次、产品质量，而产品质量的稳定性

(SiC)微粉制造技术仍为少数国外企业所垄断。本文又关系到产品的市场竞争力。以硅微粉产品为例，硅

介绍了连云港乐园研磨厂碳化硅微粉生产工艺流程中微粉经过水力精分级后，其国际市场价格约为普通硅

的关键设备——硅微粉水溢流精密分级恒压供水系统微粉的10倍。由此可见，高分级精度可以大大提高产

的设计。品价值。当前微粉精密分级工序通常采用的是水溢流