CN109457238B-高速稳定的化学镀铜液及其制备方法-授权.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN109457238B

(45)授权公告日2021.01.15

(21)申请号201811592325.8(51)Int.Cl.

C23C18/40(2006.01)

(22)申请日2018.12.25

审查员王振

(65)同一申请的已公布的文献号

申请公布号CN109457238A

(43)申请公布日2019.03.12

(66)本国优先权数据

201811000124.42018.08.30CN

(73)专利权人上海昕沐化学科技有限公司

地址201699上海市松江区谷阳北路1470

弄1号322室-1

(72)发明人章磊

(74)专利代理机构上海宏京知识产权代理事务

所(普通合伙)31297

代理人邓文武

权利要求书1页说明书4页

(54)发明名称

高速稳定的化学镀铜液及其制备方法

(57)摘要

本发明公开了一种高速稳定的化学镀铜液

及其制备方法，所述高速稳定的化学镀铜液按体

积浓度包括以下组分：五水合硫酸铜8g/L～25g/

L，酒石酸钾钠15～40g/L，甲醛5～20ml/L，氢氧

化钠5～20g/L，稳定剂10～500mg/L，其余量为

水。所述高速稳定的化学镀铜液还包括组合添加

剂，所述组合添加剂由硫脲衍生物和含羟烷基的

氨羧化合物组成。将五水合硫酸铜与水互溶，充

分搅拌至溶液澄清后，依次加入酒石酸钾钠、稳

定剂、组合添加剂、氢氧化钠、甲醛，充分搅拌至

溶液澄清，用水定容，即可得高速稳定的化学镀

铜液。本发明中的高速稳定的化学镀铜液，沉积

B速度在10μm/h以上，镀液稳定，镀铜层平整均

8匀，满足功能性化学镀铜要求。

3

2

7

5

4

9

0

1

N

C

CN109457238B权利要求书1/1页

1.一种高速稳定的化学镀铜液，其特征在于，所述高速稳定的化学镀铜液按体积浓度

包括以下组分：

五水合硫酸铜8～25g/L，

酒石酸钾钠15～40g/L，

甲醛5～20ml/L，

氢氧化钠5～20g/L，

稳定剂10～500mg/L，

其余量为水；

其中，所述稳定剂为海因、5,5二甲基海因和5,5二乙基海因中的一种；

所述高速稳定的化学镀铜液还包括组合添加剂，所述组合添加剂由硫脲衍生物和含羟

烷基的氨羧化合物组成，所述高速稳定的化学镀铜液中所述硫脲衍生物的体积浓度为0.1

～50mg/L，所述高速稳定的化学镀铜液中所述含羟烷基的氨羧化合物的体积浓度为0.1～

5g/L；

其中，所述硫脲衍生物为氨基硫脲和烯丙基硫脲中的一种，所述含羟烷基的氨羧化合

物为N-羟乙基乙二胺三乙酸(HEDTA)和四羟丙基乙二胺(EDTP)中的一种。

2.如权利要求1所述的高速稳定的化学镀铜液，其特征在于，所述甲醛的质量浓度为

37％。

3.一种制备权利要求1-2任一项所述的高速稳定的化学镀铜液的方法，其特征在于，包

括如下步骤：将五水合硫酸铜与水互溶，充分搅拌至溶液澄清后，依次加入酒石酸钾钠、稳

定剂、组合添加剂、氢氧化钠、甲醛，充分搅拌至溶液澄清，用水定容，即可得高速稳定的化

学镀铜液。

2