硅基电磁式MEMS微扬声器：结构创新与制作工艺探索.docxVIP

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2025-12-29 发布于上海
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硅基电磁式MEMS微扬声器：结构创新与制作工艺探索.docx

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硅基电磁式MEMS微扬声器：结构创新与制作工艺探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，电子设备正朝着小型化、集成化和高性能化的方向迅猛迈进。从智能手机、平板电脑到可穿戴设备、智能家居产品等，各类电子设备不断追求更小的体积、更轻的重量以及更强大的功能。作为电子设备中不可或缺的音频输出组件，扬声器的性能和尺寸对整个设备的品质和用户体验有着举足轻重的影响。传统的电磁式扬声器由于其结构和工作原理的限制，在面对电子设备小型化的趋势时，逐渐暴露出诸多难以克服的问题。例如，传统扬声器的体积较大，难以满足如TWS耳机、智能眼镜、可穿戴设备等对空间要求极为苛刻的小型电子设备的集成