《储能材料与器件分析测试技术》课件——扫描电子显微镜设备认知.pptxVIP

扫描电子显微镜设备认知

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发夹式钨灯丝电子枪的结构如右图所示。

它是一种典型的三极电子枪，灯丝本身为阴极，并直接通过阴极电流来加热灯丝，使其发生热电子发射。

为了改善灯丝发射电子的稳定性，通常采用自栅偏压方法。阴极所发射的电子被阳极的电位加速，穿过栅极孔，在电极间的电场作用下，形成一个亮度为B0，交叉点尺寸为G0的虚光源。G0的大小取决于栅极电位和阳极电位的比值。适当地调节灯丝-阳极距离和栅极-阳极距离，获得最细的电子束。

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信号处理和扫描显示系统如右图所示。

信号处理的目的：

人工控制图像的衬度以改善图像的质量。

实现各种特殊图像的显示以获得更多的形态分析资料。

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总结

扫描电子显微镜设备认知

2.1扫描电子显微镜介绍及应用

2.2扫描电子显微镜的组成

2.3样品的制备

2.3电子光学系统

2.4真空系统

2.5透镜系统与检测-放大系统

2.6信号处理和扫描显示系统

块状样品制备

粉体样品制备

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