平稳弹性浮动研磨的扰动抑制控制系统：原理、设计与实践.docx

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2025-12-29 发布于上海
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平稳弹性浮动研磨的扰动抑制控制系统：原理、设计与实践

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业制造领域，研磨技术作为实现精密和超精密加工的关键工艺，占据着举足轻重的地位。从电子信息产业中芯片的制造，到航空航天领域发动机叶片的精修，再到汽车制造里精密零部件的表面处理，研磨技术的应用无处不在，其加工质量直接关乎产品的性能、可靠性与使用寿命。随着科技的迅猛发展和工业制造精度要求的不断攀升，传统刚性研磨技术的局限性日益凸显。在传统刚性研磨过程中，研磨工具与工件之间为刚性接触，这种接触方式使得系统刚度较大，虽在一定程度上保证了加工的稳定性，但也带来了诸多难以克服的问题。由于缺乏缓冲机制，微小的振动、