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毕业设计（论文）
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毕业设计（论文）报告
题目：
基于集成电路的微波等离子清洗技术研究
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基于集成电路的微波等离子清洗技术研究
摘要：随着集成电路技术的不断发展，芯片制造过程中对表面清洁度的要求越来越高。微波等离子体清洗技术因其高效、环保、安全等优点，已成为芯片制造过程中的关键技术之一。本文首先对微波等离子体清洗技术的原理进行了阐述，然后详细介绍了基于集成电路的微波等离子清洗技术的系统设计，包括等离子体发生器、微波源、控制系统等。接着分析了不同清洗条件对清洗效果的影响，并对清
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