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声表面波角速率传感器：原理、发展与应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，传感器作为获取信息的关键部件，广泛应用于各个领域。声表面波角速率传感器作为一种新型的传感器，凭借其独特的优势，在众多领域中展现出重要的应用价值，成为了研究的热点之一。

声表面波（SurfaceAcousticWave，SAW）是一种沿固体表面传播的弹性波，其能量主要集中在固体表面下一个波长的范围内。1885年，英国物理学家瑞利（LordRayleigh）在研究地震波时首次发现了声表面波。1965年，White和Voltmer利用沉积在压电晶体上的叉指换能器（Inter