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制造工艺仿真：沉积仿真_（10）.沉积仿真软件工具与应用.docx

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    沉积仿真软件工具与应用

    在上一节中，我们探讨了沉积仿真的基本原理和方法。本节将详细介绍用于沉积仿真的软件工具及其应用。沉积仿真软件是电子科学与技术领域中不可或缺的工具，特别是在集成电路设计与集成系统中，通过这些软件可以模拟和优化沉积工艺，提高器件性能和制造效率。

    1.常见的沉积仿真软件

    1.1.SentaurusProcess

    SentaurusProcess是由Synopsys公司开发的先进工艺仿真工具，广泛用于半导体制造工艺的仿真。它支持多种沉积工艺，包括化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）和电化学沉积（ECD）等。

    1.1.

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