制造工艺仿真：光刻仿真_（3）.光刻工艺流程仿真.docx

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光刻工艺流程仿真

光刻工艺的基本步骤

在集成电路制造过程中，光刻工艺是将设计好的电路图案转移到硅片表面的一个关键步骤。光刻工艺的基本步骤包括以下几个环节：

涂胶：在硅片表面均匀涂覆一层光刻胶。

前烘：通过前烘处理，使光刻胶表面干燥，提高其粘附性。

曝光：使用掩模和曝光设备将图案曝光到光刻胶上。

显影：通过化学溶液将曝光区域的光刻胶去除，留下未曝光区域的光刻胶。

坚膜：通过坚膜处理，使光刻胶更加坚固，以抵抗后续的刻蚀和离子注入等工艺。

刻蚀：使用化学或物理方法将光刻胶下的硅片表面进行刻蚀，形成所需的电路图案。

去胶：去除剩余的光刻胶，完成光刻工艺。

涂胶仿