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公司掩膜版制造工设备安全操作规程

文件名称：公司掩膜版制造工设备安全操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司所有从事掩膜版制造工作的员工。适用于掩膜版制造过程中，涉及设备操作、维护和保养的各个环节。员工应严格遵守本规程，确保设备安全、稳定运行，保障人身和财产安全。规程内容包含但不限于设备操作流程、安全注意事项、紧急情况处理等。

二、操作前的准备

1.防护用具的使用

a.操作前，员工应穿戴符合规定的防护服、防护手套、防护眼镜和防尘口罩，以防止化学品、金属颗粒等对身体的伤害。

b.镜头清洁时，应佩戴防护眼镜，避免化学品溅入眼睛。

c.操作高温设备时，应穿戴隔热手套和防护服，防止烫伤。

2.设备启机前的检查项目

a.检查设备外观是否有损坏、裂纹等异常情况，确保设备安全可靠。

b.检查设备各部件是否紧固，如有松动应及时紧固。

c.检查设备电源线、控制线是否完好，无破损、裸露现象。

d.检查设备冷却系统是否正常，确保设备在运行过程中散热良好。

e.检查设备润滑系统是否正常，确保设备运行顺畅。

f.检查设备控制系统是否正常，包括按钮、开关、显示屏等。

3.作业区域的准备要求

a.操作前，应确保作业区域整洁、无杂物，避免影响设备操作和产品品质。

b.作业区域应保持通风良好，确保操作人员呼吸顺畅。

c.作业区域应设置警示标志，提醒操作人员注意安全。

d.作业区域应配备必要的消防器材，如灭火器、消防沙等。

e.作业区域应设置紧急停止按钮，以便在紧急情况下迅速切断电源。

f.作业区域应定期进行清洁消毒，保持卫生。

操作人员应熟悉以上准备要求，并在操作前严格按照规定执行，确保设备安全、稳定运行，保障自身和他人的安全。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作或工艺执行步骤流程

a.确认设备状态正常，准备就绪后，启动设备电源。

b.按照操作手册中的步骤顺序，进行设备参数设置和调试。

c.根据工艺要求，将原材料或半成品正确放置于设备指定位置。

d.启动设备，观察设备运行状态，确保设备按预定程序运行。

e.设备运行过程中，监控关键参数，如温度、压力、速度等，确保工艺参数符合要求。

f.设备运行完成后，进行产品检验，确保产品合格。

g.关闭设备，进行清洁和保养，为下一轮操作做准备。

2.特殊工序的操作规范

a.对于需要特殊工艺处理的工序，操作人员需接受专门培训，熟悉操作流程和注意事项。

b.操作特殊工序时，需佩戴特定的防护用品，并严格遵守安全操作规程。

c.特殊工序的设备参数设置需精确，不得随意调整，以免影响产品品质。

3.异常工况的处理方法

a.发现设备运行异常时，应立即停止设备，防止事故扩大。

b.根据异常情况，分析可能的原因，并采取相应措施进行排除。

c.若无法自行排除异常，应立即上报上级，并寻求专业技术人员协助。

d.在排除异常期间，禁止其他无关人员进入作业区域。

e.处理完异常后，对设备进行全面检查，确认设备恢复正常后再进行正常操作。

操作人员应熟悉并严格执行以上操作顺序和方式，确保设备操作的正确性和安全性。在操作过程中，如遇特殊情况，应灵活应对，确保操作安全，避免造成损失。

四、操作过程中机器设备的状态

1.设备运行时的正常工况参数

a.温度：设备运行时，各部件温度应保持在设备手册规定的范围内，避免过热或过冷。

b.压力：对于需要维持一定压力的设备，压力值应稳定在设定值附近，波动幅度不超过规定范围。

c.速度：设备运行速度应与工艺要求相符，无异常波动。

d.噪音：设备运行时产生的噪音应在正常范围内，无异常的轰鸣声或刺耳声。

e.电流：设备运行时，电流值应稳定，无大幅波动。

f.电压：设备运行时，电压应稳定，波动幅度应小于规定值。

2.典型故障现象

a.设备突然停止运行，无任何预警信号。

b.设备运行过程中，出现异常震动或噪音。

c.设备运行时，温度或压力出现异常波动。

d.设备运行速度不稳定，出现频繁的加速或减速。

e.设备运行时，电流或电压出现大幅波动。

3.状态监测的操作要求

a.操作人员应定期对设备进行巡检，观察设备运行状态，记录相关参数。

b.使用监测仪器，如温度计、压力计、电流表等，对设备关键参数进行实时监测。

c.发现异常情况时，应立即停止设备，进行初步判断和处理。

d.对设备进行定期维护保养，确保设备处于良好状态。

e.操作人员应熟悉设备故障现象及其处理方法，提高故障应对能力。

f.设备运行数据应记录在案，便于后续分析和故障排查。

操作人员应时刻关注设备运