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硅基应变器件应力引入方法：原理、应用与创新探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今数字化时代，集成电路作为现代电子系统的核心，其性能的提升对于推动信息技术的发展至关重要。硅基材料凭借其优异的物理和化学性质，如良好的半导体特性、较高的电子迁移率以及成熟的制备工艺，成为集成电路领域的基石材料，在晶体管制造、集成电路基板以及微处理器设计等方面发挥着不可替代的作用。随着科技的飞速发展，人们对集成电路的性能提出了越来越高的要求，如更高的运行速度、更低的功耗以及更小的尺寸。

硅基应变器件应运而生，成为当前芯片制造中的关键技术。它通过物理或化学方法在硅基材料中引入应力，改变晶格常数，进而导致晶体管的