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工艺测试中的问题与对策.docx

工艺测试中的问题与对策.docx

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    2026年工艺测试中的问题与对策

    一、选择题（每题2分，共20题）

    1题1分：某半导体制造厂在2026年工艺测试中发现，某道工序的良率持续下降，初步怀疑是设备老化导致。以下哪项检查方法最直接有效？

    A.重新校准设备参数

    B.更换同型号备件

    C.检查设备振动数据

    D.回归原始工艺数据

    1题2分：某光伏企业2026年工艺测试中，发现电池片边缘区域存在明显衰减现象。可能的原因不包括以下哪项？

    A.热压参数设置不当

    B.硅片切割质量差

    C.隔热膜污染

    D.氮化硅沉积厚度均匀

    1题2分：某电子设备制造企业在2026年工艺测试中，发现某

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