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自动机台保养作业书

1.0目的：

本文旨在规范自动机台预防保养，以产品于制程中品质与操

作人员安全。

2.0所使用的工具：

无尘布、无尘纸、乳胶手套、防护衣、、IPA、润滑油（含氟润滑油也

需要）、注油枪，常用工具等物品、热电偶感温棒、测温仪、音压计

3.0注意事项：

（1）工作前先穿戴好防护用具；

（2）注意自身安全，操作安全；

（3）及时把槽内的片源取出冲洗，防止过泡时间过长而影响片源；

（4）在维修过程中机台切为手动，防止生产不明情况下操作机台。

4.0保养程序:

（1）药液槽、QDR槽的清洁排空溶液，加满DIW冲洗至少三次排空后，

用无尘布擦拭擦拭槽体；（月）

（2）COVER清洁以及确认COVER关闭状态下，用DIWGUN清洁槽盖外侧；

COVER开启状态下，用DIWGUN清洁槽盖内侧，清洁完成后用无尘纸擦拭干净。

COVER开启关闭状态下观察气缸磁簧sensor是否达到行程位置；（月）

（3）WPR的清洁与调试将WPR移至QDR槽下定位，用DIWGUN

冲洗后，再用无尘纸擦拭PFA层、WPR的调试；（月）

（4）QDR槽水阻计探头的清洁、校正开启QDR槽FLUSH10mins后,拆下

水阻计探头，浸泡在乙醇溶液中5mins，用无尘布擦拭干净.用水阻测量仪

量测水阻显示，若发现与水阻计相差±3兆欧，则进行校正；（周）

（5）X、Y轴对应限位sensor、positionsensor、rockingsensor清洁确

认用无尘布沾IPA清洁限位sensor.X、Y轴移动确认限位sensor能否

被遮住.确认rocking是否能够回到原点；（月）

（6）rocking机构、WPR滑轨、Y轴丝杆涂抹润滑油用注油枪打润滑油至

机构内，并手动测试机构功能；（月）

（7）WPRopen/close间距、sensor确认手动开启chuckopen/close，

检查间距.chuck同时放置2个吊篮，检查chuck开关时sensor动作是否正常；

（月）

（8）LOAD/UNLOAD端cassettedetectsensor确认在LOAD/UNLOAD端

放置吊篮，检查sensor动作是否正常；（月）

（9）槽体LEVELSensor、IPADRYERBUFFERTANKLEVEL的确认槽体加

入相应溶液确认LEVEL是否正常；（月）

（10）超声槽体的音压测量对具有超声功能的槽体进行音压测量，若超出

范围，进行调节；（周）

（11）加热槽体温度的测量、热电偶的检查对加热槽进行一次测温，若温

度超出工艺规定范围，将对温控器温度进行校正，若发现热电偶有皲裂或温度偏

差较大，则更换之；（月）

（12）QDR快排测试连续执行3run单槽制程，检查承漏盘是否有排水不

畅。（月）