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一种可锁存的热激活相变驱动器及其响应行为的优化

C.Richter*,E.Wilhelm,A.Voigt,和B.E.Rapp

卡尔斯鲁厄理工学院（KIT），德国

通道，即源通道中的流体流动。通过使用外部压力源对

摘要

本文介绍了一种可锁存的热激活相变（PC）驱动器。源通道施加压力，可以使封闭充满液体的源通道的膜发

该驱动器可通过加热电阻和两个压力源进行控制。因此，生偏转。这种偏转可用于关闭微流体通道，类似于气动

可以使用一个高度集成的平台来驱动数百个驱动器，该驱动的膜阀。源通道可以被一个热激活的双稳态相变微

平台允许对数百个加热电阻进行独立控制。为了优化驱动阀（PC微阀）阻断，该微阀起到栅极的作用。因此，驱

器的响应时间，我们分析了所用电阻的加热功率、所用相动器膜的偏转与相变材料（PCM）的用量无关。驱动器

变材料（PCM）的体积以及PCM本身的影响。的操作原理如图1所示。

关键词

可锁存驱动器，相变，微流体

引言

微流体在生物或化学中的各种应用需要大量可单独

控制的执行器或微阀。Thorsen等人在2002[1]中展示

了使用气动驱动控制数千个执行器的方法。然而，由于

所有这些执行器都连接到同一根压力管路，因此这些执行

器无法单独寻址。为了实现单独激活，应使用其他控制信

号，例如电信号。一种使用电信号控制执行器的方法是将图1：执行器的操作模式。当没有压力（0）施加在源通

电压转化为欧姆电阻中的热量。此类执行器非常有前景的道（浅蓝色）上时，执行器膜不会发生偏转（i）。通过

概念是PC微阀。在这些执行器中，PCM（相变材料）对源通道（v）施加压力（p），可使执行器膜（顶部）

被熔化。从固态到液态的相变过程中的体积膨胀被用来使鼓起。为了稳定这一状态，必须阻断源通道。为此，加

膜片变形，从而关闭微流体通道[2]。然而，这种概念需热SMD（表面贴装器件）电阻（红色），使PCM（黄

要持续的能量供应以维持关闭状态。使用可锁存执行器可色）熔化。液态的PCM现在可以通过对门通道（深蓝色）

以降低执行器的能量消耗。在这些微阀中，PCM通过柔施压而被移开，并且下层膜偏转从而关闭源通道（vi）。

性膜片与微流体通道隔开。此ⴺ，利用外部压力使液态通过停用SMD（浅灰色）使PCM（深绿色）在此位置

PCM移位来关闭通道。随后PCM在其新位置中固化，固化，从而稳定执行器膜的偏转状态（vii）。位置（i）

用于稳定切换状态[3]。然而，在这个概念中，PCM的的稳定可以通过类似的过程实现，但源通道上不施加压力

用量决定了执行器膜片的位移量。我们最近提出了一种新（ii+iii）。在门通道或源通道上不施加压力的情况下加

型可锁存执行器的概念，称为“移位门执行器”，其微执热电阻，可打开源通道，使膜恢复到初始位置（iv）。膜

行器的位移量与所用PCM的量无关[4]。（粉红色）由PDMS（聚二甲基硅氧烷）制成，流体结构

则由环氧树脂（深灰色）构成。SMD安装在电路板

（浅绿色）上。

将双稳态微阀与可单独寻址的SMD（表面贴装器件）

设计

加热电阻结合以熔化PCM[5]，可以实现在同一平台

该驱动器的总体工作原理可与晶体管相比较。该驱

上仅使用两个外部压力源（一个用于门控通道，一个用

动器包含一个控制通道（栅极通道），用于调节另一个

于源通道）集成大量执行器。

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