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探索掺杂VOx薄膜的制备工艺与性能优化

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，新型功能材料的研究与开发成为材料科学领域的关键任务之一。在众多功能材料中，VOx薄膜以其独特的物理化学性质，在诸多领域展现出了巨大的应用潜力，受到了科研人员的广泛关注。

VOx薄膜是一类由钒（V）和氧（O）组成的化合物薄膜，由于钒元素具有多种可变价态，使得VOx薄膜的化学计量比可以在一定范围内变化，进而呈现出丰富多样的晶体结构和物理性能。其中，VO2薄膜在68℃左右发生的半导体-金属相变特性尤为引人注目。当温度低于相变温度时，VO2处于半导体相，具有较低的电导率和较高的红外透过率；而当温度