Suzhou Jingge苏州晶格电子电子测试仪器ST2263 ST2253说明书.pdf

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ST2263型双电测数字式四探针测试仪简介

一结构特征

ST2253型四探针仪主机ST2253型四探针仪连PC软件探头选型-测硅片、测薄膜

二、概述

2.1基本功能和依据标准:

ST2263型双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测-改进形范德堡测量方法测试材料电阻率/方块电阻的智能化

综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T1551-2009《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探

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