2025年中国MOCVD设备行业市场集中度、企业竞争格局分析报告—智研咨询发布.docxVIP

2025年中国MOCVD设备行业市场集中度、企业竞争格局分析报告—智研咨询发布

内容概要：MOCVD金属有机化合物化学气相沉淀，是在气相外延生长的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。近年来，LED以其特性被广泛运用于各类照明领域。作为LED产品关键部件，采用金属有机气相沉积(MOCVD)生产外延片过程产生大量的生产废料。该废料中含有发光材料所必需的元素镓和铟对电子工业至关重要，镓和铟其独特的性能和有限的资源是其他材料及金属所无法替代的。日益增长的消费需求以及对镓和铟的大量需求的潜力，引发了全球竞争。随着LED行业的快速发展，绿色、清洁回收MOCVD生产废料备受关注。在我国，回收MOCVD生产废料中的有价金属对保障我国战略金属供给安全具有重大意义。MOCVD设备主要用于氮化镓基及砷化镓基半导体材料外延生长。目前中国是全球最大的MOCVD设备需求市场。2024年，我国MOCVD设备保有量3142台，出货量310台，市场规模28.06亿元；预计2025年，我国MOCVD设备保有量约3352台，出货量约315台，市场规模约28.35亿元。随着MOCVD设备在功率器件等诸多新兴领域的逐步应用，MOCVD设备市场规模将进一步扩大，前景广阔。

上市企业：中微公司(688012.SH)

相关企业：中晟光电设备（上海）股份有限公司、实为半导体科技有限公司、塔半导体（安徽）有限公司、深圳新益昌海威真空设备有限公司、奥利光电设备科技（江西）有限公司、施科特光电材料（昆山）有限公司、北京沁圆半导体设备有限公司

关键词：MOCVD设备保有量、MOCVD设备出货量、MOCVD设备市场规模、MOCVD设备国产化率、MOCVD设备市场竞争格局、MOCVD设备行业发展前景、MOCVD设备行业发展趋势

一、MOCVD设备行业定义

MOCVD（Metal-organicChemicalVaporDeposition）金属有机化合物化学气相沉淀，是在气相外延生长（VPE）的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压（10-100Torr）下通H2的冷壁石英（不锈钢）反应室中进行，衬底温度为500-1200℃,用直流加热石墨基座（衬底基片在石墨基座上方），H2通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区。

因为MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料。因此在MOCVD系统的设计思想上，通常要考虑系统密封性，流量、温度控制要精确，组分变换要迅速，系统要紧凑等。不同厂家和研究者所产生或组装的MOCVD设备是不同的。一般由源供给系统、气体输运和流量控制系统、反应室及温度控制系统、尾气处理及安全防护报警系统、自动操作及电控系统。

MOCVD设备的组成系统

二、MOCVD设备行业发展现状

近年来，LED以其节能及环境友好等特性被广泛运用于各类照明领域。作为LED产品关键部件，采用金属有机气相沉积(MOCVD)生产外延片过程产生大量的生产废料。该废料中含有发光材料所必需的元素镓和铟，其中镓通常以GaAs、GaN和InGaN的形式存在于芯片中。镓和铟对电子工业至关重要，从工业应用中铟被归类为重要关键矿产资源，到供应链稀缺性的潜在角度镓和铟被归为战略金属。其独特的性能和有限的资源是其他材料及金属所无法替代的。日益增长的消费需求以及对镓和铟的大量需求的潜力，引发了全球竞争。随着LED行业的快速发展，绿色、清洁回收MOCVD生产废料备受关注。

MOCVD设备主要用于氮化镓基及砷化镓基半导体材料外延生长。据统计2024年全球MOCVD设备保有量为5150台，出货量为411台，市场规模为6.86亿美元；预计2025年，全球MOCVD设备保有量为5650台，出货量为442台，市场规模为7.09亿美元。

2017-2025年全球MOCVD设备行业发展规模

在我国，回收MOCVD生产废料中的有价金属对保障我国战略金属供给安全具有重大意义。我国LED产业开始于上世纪60年代末，经过30多年的积累，我国已经形成包括LED外延片的生产、LED芯片的制备、LED芯片的封装以及LED产品应用在内的较为完整的产业链。氮化镓基LEDMOCVD主要用于生产氮化镓基LED的外延片。目前氮化镓基MOCVD设备约占全部MOCVD市场份额的80%左右，此外，MOCVD设备还可以应用绿光LED、红光LED、深紫外LED，以及MiniLED、MicroLED、功率器件等诸多新兴领域，MOCVD设备的市场规模将进一步扩大，