纳米多层薄膜外界输入原子的非线性扩散动力学:机制、影响与应用
一、引言
1.1研究背景与意义
纳米多层薄膜作为一种新型的材料,近年来在材料科学领域引起了广泛关注。它是由不同材料相互交替沉积而成的,各分膜的金属或合金厚度均为纳米级,这种独特的结构使其具有许多优异的性能,如高强度、高硬度、良好的耐磨性、耐腐蚀性以及特殊的光学、电学和磁学性能等。由于这些卓越的性能,纳米多层薄膜在众多领域得到了广泛应用。
在机械加工领域,纳米多层薄膜常被用作刀具涂层,如最早应用的由TiN和TiCN组成的多层膜,每层膜厚数微米,相较于单层TiN和TiCN膜,TiN/TiCN多层膜能显著提高刀具的使用
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