集成电路制造工艺 -教学指南.docx

《集成电路制造工艺》电子教案

课程信息

课程名称：集成电路制造工艺

课程代码：XXXXXXX

适用专业：电子科学与技术、微电子科学与工程等相关专业

总学时：64学时

教材：《集成电路制造工艺》（含电子教学课件、习题参考答案、教学视频和精品课网站）

课程简介

本课程旨在培养学生掌握集成电路制造工艺的基本原理、工艺技术和操作方法，了解集成电路制造的全流程，包括薄膜制备、光刻、刻蚀、掺杂、平坦化等核心工艺，以及硅衬底制备、封装测试、洁净技术等拓展内容。通过本课程的学习，学生能够具备集成电路制造领域的基本技能和职业素养，适应现代半导体产业的发展需求。

课程教学要求

知识要求：掌握集成电路制造工艺的基本