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半导体设备废气处理装置：技术、应用与创新发展

一、引言

1.1研究背景与意义

半导体产业作为现代信息技术产业的核心与基石，在全球经济和科技发展中占据着举足轻重的地位。近年来，随着智能手机、人工智能、物联网等领域的飞速发展，对半导体芯片的需求呈现出爆发式增长，推动半导体产业规模持续扩张。国际半导体产业协会（SEMI）的数据显示，全球半导体市场规模在过去几年中保持着稳定增长态势，2023年已突破6000亿美元大关，预计在未来几年仍将以可观的速度增长。

然而，半导体产业在为社会带来巨大便利和经济价值的同时，其生产过程中产生的废气排放问题也日益严峻。半导体制造工艺复杂，涉及光刻、蚀刻、化学气相