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2025年中国半导体光刻设备零部件国产化政策支持报告参考模板
一、:2025年中国半导体光刻设备零部件国产化政策支持报告
1.1报告背景
1.2政策目标
1.2.1提升光刻设备零部件国产化水平
1.2.2培育一批具有国际竞争力的光刻设备零部件企业
1.2.3保障我国半导体产业的供应链安全
1.3政策措施
1.3.1加大研发投入
1.3.2优化产业布局
1.3.3实施税收优惠政策
1.3.4完善人才培养体系
1.3.5加强国际合作
1.4政策效果
1.4.1光刻设备零部件国产化率逐步提高
1.4.2光刻设备零
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