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探究ZrN及其多层膜的制备工艺与性能表现:从基础到应用的深入剖析
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代工业快速发展的进程中,材料性能的优化与创新始终是推动各领域进步的关键因素。ZrN(氮化锆)及其多层膜凭借其独特且卓越的性能,在众多行业中逐渐崭露头角,吸引了科研人员与产业界的广泛关注。
ZrN作为一种过渡金属氮化物,具备一系列优异的物理和化学性能。从力学性能角度来看,它拥有较高的硬度,显微硬度可达20-25GPa,这使其在耐磨领域表现出色,能够显著提高材料表面的耐磨性,延长相关零部件的使用寿命。在高温环境下,ZrN展现出良好的热稳定性,其熔点高达2980℃,可以承受极端的高
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