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准分子激光退火设备关键技术剖析与应用拓展研究
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代材料加工领域，随着科技的飞速发展，对材料性能的要求日益严苛。传统的材料加工技术在面对高精度、高性能材料的制备需求时，逐渐暴露出诸多局限性，难以满足电子、航空航天、新能源等高端产业不断升级的发展要求。准分子激光退火设备作为一种新型的材料加工设备，凭借其独特的技术优势，在现代材料加工中占据了举足轻重的地位。
准分子激光退火技术利用准分子激光的高能量密度、短脉冲特性，能够在极短时间内对材料表面进行快速加热与冷却，实现对材料微观结构的精确调控，进而显著改善材料的性能。在半导体材料领域，通过准分子激光退火处理，可有效修
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