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新型MEMS气体传感器：技术、应用与发展趋势的深度剖析
一、引言
1.1研究背景与意义
在当今科技飞速发展的时代，气体传感器作为一种能够检测和识别各种气体成分及浓度的关键设备，在众多领域中发挥着不可或缺的作用。从工业生产到环境监测，从医疗健康到智能家居，气体传感器的应用无处不在，为人们的生活和社会的发展提供了重要支持。
在工业领域，MEMS气体传感器的应用极为广泛。例如在石油化工行业，各种易燃易爆、有毒有害气体充斥于生产过程中。一旦发生气体泄漏，极有可能引发严重的安全事故，如爆炸、火灾等，不仅会对人员生命安全造成巨大威胁，还会导致工厂设施的严重损坏，带来巨大的经济损失。据统计，每年因气体泄
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