掩膜版制造工职业健康及安全操作规程.docxVIP

PAGE

PAGE1

掩膜版制造工职业健康及安全操作规程

文件名称：掩膜版制造工职业健康及安全操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于从事掩膜版制造工作的所有人员。规程旨在确保员工在操作过程中的人身安全和健康，预防事故发生，保障生产环境的安全与卫生。所有员工应严格遵守本规程，确保自身及他人安全。规程内容涵盖操作前的准备、操作过程中的安全措施、事故预防及应急处理等方面。

二、操作前的准备

1.人员准备：

-操作人员必须经过专业培训，了解掩膜版制造工艺流程和设备操作。

-操作人员需熟悉本规程内容，并掌握必要的急救技能。

-佩戴适当的防护用品，如防护眼镜、手套、口罩、工作服等。

2.设备准备：

-检查设备是否处于正常工作状态，包括电源、冷却系统、控制系统等。

-确认设备清洁，无尘土、油污等杂质，以保证成像质量。

-检查设备各部件连接是否牢固，防止操作过程中出现故障。

-检查设备报警系统是否正常，确保能够及时发现并处理异常情况。

3.环境准备：

-检查车间内空气质量，确保无有害气体、粉尘等污染。

-检查地面是否平整、无油污、水渍等，以防滑倒事故发生。

-确认照明充足，无安全隐患。

-检查消防设施是否齐全、有效，确保发生火灾时能够迅速处置。

4.原料与辅料准备：

-核对原料与辅料清单，确保所用材料符合质量要求。

-检查原料与辅料储存环境，确保干燥、清洁，防止受潮、污染。

-使用前对原料与辅料进行预处理，如清洗、晾干等。

5.安全检查：

-检查操作区域是否有障碍物，确保操作空间畅通。

-确认安全通道无阻挡，方便紧急疏散。

-检查消防器材、应急药品等是否齐全，确保能够及时应对突发状况。

6.交底与确认：

-操作前由班组长对当天生产任务进行交底，明确操作要求及注意事项。

-操作人员对交底内容进行确认，确保理解无误。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

-首先进行设备预热，确保设备达到最佳工作温度。

-检查并安装掩膜版，确保其位置准确无误。

-启动设备，按照工艺要求设置参数，包括曝光时间、压力等。

-进行曝光作业，确保曝光均匀，无遗漏。

-曝光完成后，关闭设备，进行显影处理。

-显影后，进行定影和清洗，去除未曝光的感光材料。

-清洗完成后，进行干燥处理，确保掩膜版无水分。

-最后进行质量检查，确认掩膜版符合要求。

2.作业方式：

-操作过程中，严格遵守一人一机原则，不得多人共用一台设备。

-操作时，保持与设备的安全距离，防止误操作。

-使用设备时，遵循从上至下、从左至右的顺序，确保操作规范。

-操作过程中，注意观察设备运行状态，发现异常立即停机检查。

3.异常处置：

-设备出现故障时，立即停机，切断电源，防止事故扩大。

-根据故障原因，采取相应的维修措施，如更换零件、调整参数等。

-如无法自行处理，应立即通知维修人员或班组长。

-在处理设备故障时，确保操作人员安全，避免发生触电、烫伤等事故。

-处理完故障后，重新进行设备预热和参数设置，确保设备恢复正常工作。

-处理过程中，如发现安全隐患，应立即停止操作，消除隐患后方可继续作业。

4.操作记录：

-每次操作完成后，详细记录操作参数、设备状态、故障情况等。

-操作记录应保存完好，以便后续查询和分析。

5.安全注意事项：

-操作过程中，不得擅自离开工作岗位，确保设备安全运行。

-严禁在设备运行时进行清洁、润滑等维护工作。

-不得在设备附近吸烟、饮食，防止火灾和污染。

-严格遵守操作规程，不得擅自更改设备参数或操作流程。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

-设备运行稳定，无异常振动和噪音。

-设备各部件运行温度在规定范围内，无过热现象。

-设备控制系统显示正常，无错误代码和报警信号。

-曝光系统曝光均匀，无曝光不足或过度区域。

-显影、定影、清洗等处理过程无异常，溶液颜色、浓度符合要求。

-设备运行过程中，各传动部件运转顺畅，无卡滞现象。

2.异常现象识别：

-设备出现明显的振动或噪音，可能是轴承、齿轮等部件损坏或松动。

-设备温度异常，可能是冷却系统故障或负载过重。

-控制系统显示错误代码或报警信号，可能是传感器、电路板等部件故障。

-曝光不均匀，可能是光源故障或掩膜版安装不当。

-处理溶液颜色、浓度异常，可能是溶液污染或配置错误。

-传动部件卡滞，可能是润滑不良或异物进入。

3.状态监测方法：

-定期检查设备各部件的运行状态，包括温度、振动、噪音等。

-通过设备控制系统实时监控设备运行参数，如曝光时