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题目激光共焦点扫描测量方法及实验研究
摘要
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论文题目：激光共焦点扫描测量方法及实验研究
摘要
共焦显微技术的核心是采用点照明和点探测,同时结合逐点扫描,在相干或非相干成像条件下,对样品表面形貌进行成像,并通过计算机合成三维立体图像，具有其高对比度、高分辨率、易于实行的特点，从而成为工业、生物学以及医学等领域的重要工具和研究手段。（共聚焦-改共焦）
本研究基于共焦技术独特的轴向层析定焦能力并结合PZT纳米位移台，研制了一套z方向的高精度、非接触激光共焦台阶
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