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半导体厂务项目工程管理 课件 项目10 废水系统.pptx

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    半导体厂务项目工程管理

    项目十

    废水系统

    任务10-1废水的种类

    1.研磨废水

    来源：研磨过程、抛光过程、清洗过程等等。。

    研磨废水中含有大量的未反应的磨料颗粒（如碳化硼、金刚石、二氧化硅等微米级颗粒）以及从被加工材料表面磨削下来的微小颗粒，以及含有多种添加剂成分：研磨液和抛光液中的表面活性剂、分散剂、pH调节剂等有机成分。

    2.含氟废水

    来源：含氟化合物、含氟清洗剂等等。。

    高浓度氟离子处理过程复杂

    氟化物强腐蚀耐腐蚀材料

    高毒性氟离子浓度控制

    3.有机废水

    来源：有机溶剂和化学物质、清洗剂等等。。

    特点：

    成分十分复杂

    高度毒性

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