半导体厂务项目工程管理 课件 项目9 纯水系统.pptx

半导体厂务项目工程管理

项目九

纯水系统

任务9-1纯水系统的介绍

【任务背景】超纯水的定义

超纯水，又称UPW，通常指的是25℃下电阻率能够达到18MΩ·cm的水，是既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。

超纯水中除了水分子外，几乎没有什么杂质。半导体行业中的超纯水，主要是用于半导体原材料生产加工、检测和半导体器件的制备。

【任务背景】超纯水的定义

【任务背景】超纯水的定义

NO

超纯水

/

上海

广州

厦门1

厦门2

ASTM

单位

≥65nm

/

/

22nm~80nm

32nm~65nm

1

机台使用压力

Bar(g)

3.0