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毕业设计（论文）
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毕业设计（论文）报告
题目：
氮化硅薄膜材料的PECVD制备及其光学性质研究
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氮化硅薄膜材料的PECVD制备及其光学性质研究
摘要：氮化硅薄膜材料作为一种具有优异机械性能、热稳定性和抗腐蚀性的新型功能材料，在航空航天、微电子等领域具有广泛的应用前景。本文采用PECVD（等离子体增强化学气相沉积）技术制备了氮化硅薄膜，并对其光学性质进行了深入研究。首先，介绍了PECVD技术的原理和氮化硅薄膜的制备工艺；其次，分析了氮化硅薄膜的微观结构、厚度和均匀性；然后，
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