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金属掺杂对氮化铌薄膜制备及特性影响的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代材料科学与技术的快速发展进程中，新型功能材料的研发始终是推动各领域技术革新的关键力量。氮化铌（NbN）薄膜作为一种极具潜力的材料，凭借其独特的物理和化学性质，在超导、电子器件、传感器等多个重要领域展现出了广阔的应用前景。

从超导领域来看，随着量子计算、超导量子比特、超导干涉仪等前沿技术的迅猛发展，对高性能超导材料的需求日益迫切。氮化铌薄膜具有相对较高的超导转变温度（最高可达17K），且在低温条件下能够支持无电阻电流的流动，这使其成为构建超导量子比特和超导干涉仪等关键超导器件的理想材料。在量子计算中，超导量