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微电子制造工艺仿真：沉积工艺仿真_（13）.先进沉积技术仿真.docx

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    先进沉积技术仿真

    1.引言

    在微电子制造工艺中，沉积技术是至关重要的一步。沉积工艺涉及到在半导体衬底上形成各种薄膜材料，这些薄膜材料可以是绝缘层、导电层、半导体层等。不同的沉积技术具有不同的特点和应用场景，如化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、原子层沉积（ALD）等。随着微电子器件尺寸的不断减小，对沉积工艺的精确控制和仿真需求也越来越高。本节将详细介绍先进沉积技术的仿真方法，包括不同的沉积技术、仿真模型和软件工具。

    2.化学气相沉积（CVD）仿真

    2.1CVD的基本原理

    化学气相沉积（ChemicalVaporDeposition,

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