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微电子制造工艺仿真：掺杂工艺仿真_（3）.掺杂原理与机制.docx

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    掺杂原理与机制

    掺杂的基本概念

    掺杂是指在半导体材料中引入少量的杂质原子，以改变其电学性质的过程。这些杂质原子被称为掺杂剂，它们的引入可以显著改变半导体的导电性。掺杂剂通常分为两类：施主杂质和受主杂质。施主杂质（如磷、砷）提供自由电子，使半导体成为n型半导体；受主杂质（如硼、铝）提供空穴，使半导体成为p型半导体。

    掺杂剂的类型

    施主杂质：引入到半导体中的杂质原子，它们容易失去一个电子，形成自由电子，使半导体成为n型半导体。常见的施主杂质有磷（P）、砷（As）和锑（Sb）。

    受主杂质：引入到半导体中的杂质原子，它们容易接受一个电子，形成空穴，使半导体成为p

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