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微电子制造工艺仿真：沉积工艺仿真_（14）.沉积工艺仿真的优化与改进.docx

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    沉积工艺仿真的优化与改进

    1.引言

    在微电子制造工艺中，沉积工艺是至关重要的一步，它决定了最终器件的性能和可靠性。随着器件尺寸的不断缩小，传统的沉积工艺模拟方法已经难以满足高精度和高效率的需求。因此，对沉积工艺仿真的优化与改进变得尤为重要。本节将重点讨论如何通过改进算法、优化模型参数以及利用先进的计算工具来提高沉积工艺仿真的精度和效率。

    2.算法优化

    2.1数值方法的选择

    在沉积工艺仿真中，常用的数值方法包括有限差分法（FiniteDifferenceMethod,FDM）、有限元法（FiniteElementMethod,FEM）和蒙

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