半导体辅料制备工职业健康操作规程.docxVIP

PAGE

PAGE1

半导体辅料制备工职业健康操作规程

文件名称：半导体辅料制备工职业健康操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于半导体辅料制备工在生产过程中涉及的所有操作环节。规程旨在确保从业人员在作业过程中的安全与健康，预防事故发生，保障企业安全生产。所有从事半导体辅料制备工作的员工必须严格遵守本规程，遵循安全操作原则，确保人身安全和设备完好。

二、操作前的准备

1.个人防护：

操作前，员工应穿戴合适的个人防护装备，包括但不限于：

-防尘口罩或防毒面具，以防止吸入有害粉尘或气体。

-防护眼镜，防止化学物质溅入眼睛。

-防护手套，保护手部免受化学品伤害。

-防护服，防止化学品与皮肤直接接触。

-安全鞋，提供足部保护。

2.设备检查：

-确认所有设备均已按照操作手册进行日常维护和检查，确保设备处于良好工作状态。

-检查设备是否干净，无残留物质，避免交叉污染。

-确认设备上的安全装置和报警系统是否正常工作。

-检查设备上的压力表、流量计等计量仪表是否准确。

3.环境检查：

-确认工作区域通风良好，无有害气体积聚。

-检查地面是否清洁，无油污、水迹或其他可能导致滑倒的物品。

-检查紧急疏散通道是否畅通，消防设施是否完好。

-确认工作区域照明充足，无死角。

4.工艺文件审查：

-仔细阅读并理解操作规程和工艺文件，确保对操作步骤和注意事项有清晰的认识。

-核实工艺参数，确保与实际操作一致。

5.物料准备：

-检查原料和辅料的质量，确保符合生产要求。

-按照规定数量和规格准备物料，避免浪费和误用。

6.工具和仪器准备：

-确认所有所需工具和仪器均已准备就绪，并处于良好状态。

-对精密仪器进行校准，确保测量准确。

7.安全培训：

-参加必要的安全生产培训，了解最新的安全操作规程和应急预案。

-在操作前，对操作规程进行复习，确保理解并能够正确执行。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

-首先进行个人防护装备的穿戴，确保符合操作要求。

-接着进行设备检查，包括设备状态、安全装置和报警系统等。

-然后进行环境检查，确保工作区域安全、通风良好。

-审查工艺文件，确认操作步骤和参数。

-准备物料，确保物料质量符合要求。

-准备工具和仪器，并进行校准。

-进行物料称量和配料，严格按照工艺要求进行。

-启动设备，进行试运行，确认设备运行正常。

-开始正式操作，按照工艺流程进行。

-操作结束后，关闭设备，进行设备清洁和保养。

-检查生产出的产品，确保质量符合标准。

2.作业方式：

-操作过程中，应遵循“先开后关”的原则，先打开设备，确认设备运行正常后再进行下一步操作。

-操作时，应保持专注，不得分心，确保操作准确无误。

-使用设备时，严格按照设备操作手册进行，不得随意更改操作参数。

-操作过程中，如需调整设备参数，应先停止设备运行，调整完毕后再启动。

-在进行清洁和保养设备时，应使用适当的清洁剂和工具，避免损坏设备。

3.异常处置：

-发现设备异常时，应立即停止操作，切断电源，并报告上级。

-如遇紧急情况，应立即启动应急预案，采取相应措施，确保人员安全。

-对于设备故障，应按照维修保养规程进行处理，不得擅自修理。

-如遇物料泄漏或化学品溅出，应立即采取措施，如使用防护用品进行清理，并通风换气。

-对于任何可能导致事故的异常情况，应立即停止操作，报告并采取相应措施。

4.记录与报告：

-操作过程中，应详细记录操作步骤、设备状态、物料使用情况等。

-如发现异常情况或设备故障，应立即记录并报告，以便及时处理。

-定期对操作记录进行审查，确保记录准确无误。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

-设备运行平稳，无异常振动和噪音。

-设备温度、压力、流量等参数在规定范围内，无异常波动。

-电气系统工作正常，无过载、短路等异常情况。

-设备各部件运行顺畅，无卡滞、磨损等现象。

-传感器、仪表显示准确，无偏差。

-通风系统正常工作，无异味、烟雾等异常排放。

2.异常现象识别：

-设备振动加剧，可能存在机械故障。

-设备噪音增大，可能存在轴承磨损或内部零件松动。

-设备温度异常升高，可能存在过热或泄漏。

-电气系统出现火花、烟雾或异味，可能存在电气故障。

-传感器、仪表读数异常，可能存在传感器故障或信号干扰。

-通风系统出现阻塞或倒灌，可能存在通风不良或泄漏。

3.状态监测方法：

-通过目视检查，观察设备外观、运行状态和电气系统。

-使用温度计、压力计、流量计等仪器，实时