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PMNT铁电薄膜的制备工艺与性能调控研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技迅猛发展的浪潮中，电子信息技术正以前所未有的速度持续革新，对各类新型材料的需求也愈发迫切。铁电薄膜作为一类极具特殊性能的功能材料，在电子学、光学、传感器等诸多领域都展现出了极其广阔的应用前景，已然成为当前材料科学领域的研究热点之一。

铁电薄膜具备自发极化特性，并且其自发极化方向能够在外加电场的作用下发生改变，这一独特性质使其在众多领域得到了广泛应用。在微电子领域，铁电薄膜被用于制造铁电随机存取存储器（FeRAM），这种存储器不仅具备快速读写的能力，还具有非易失性的特点，能够在断电后依然保存数据，与传统的半导体