光刻胶、各向异性导电胶、溅射及化学气相沉积技术概述.pdfVIP

•由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合

液体。感光树脂经光照后，在区能很快地发生光反应，

使得这种材料的性能，特别是溶解性、亲合性等发生明显变

化。经适当的溶剂处理，溶去可溶性部分，得到所需图像。光刻

胶最实用的两个性能是灵敏度和分辨率。灵敏度越高，过程

越快。分辨率指能在上再现的最小尺寸。

各向异性导电胶

•各向异性导电胶是由粘料、导电填料、剂、稀释剂、增韧剂

和其他一些助剂组成。

•导电机理有三种：（1）导电通道学说：导电粒子相互连接成链，

电子通过链移动而导电；

•（2）隧道效应学说：除了粒子之间的接触，电子也可在导电粒

子间迁移而导电；

•（3）电场学说：由于导电粒子之间的高强电场，产生

电流而导电。

溅射

•在真空腔中两个平板电极中充有稀薄惰性气体，在施加电压后会

使气体电离，离子在电场的加速下轰击靶材，使靶材上溅原

子，被撞击出的原子迁移到衬底表面形成薄膜。

•优点：材料几乎不受限制，厚度控制较容易，台阶覆盖能力好，

提高微隙填充能力，薄膜附着性好。

•缺点：容易造成硅片表面的损害，设备价格昂贵。

化学气相沉积（CVD）

•化学气相沉积主要用于各种介质材料和材料。包括

APCVD、LPCVD、PECVD、LCVD

•步骤：首先将反应气体导入系统，这些气体反应生成系列次生分

子，气体分子扩散到晶圆片表面，表面反应释放出硅。气体副产

物解吸附，副产物离开晶圆片表面，再离开反应器。