微陀螺仪检测控制系统设计与实现.pdfVIP

微陀螺仪检测控制系统设计与实现王晓雷。等

微陀螺仪检测控制系统设计与实现

andRealizationoftheDetectionandControlfor

DesignSystem

互晓雷1赵向阳2纠玉翠1李宏生3旅专满1弯路芝1

(郑州轻工业学院电气信息工程学院1，河南郑州450002；

摘要：针对微陀螺仪开环检测的不足，在电容平衡梳齿微结构的基础上，提出了基于FPGA的微陀螺仪闭环检测控制方案。设计了

电容电压变换及调理电路，得到了反映梳齿电容振动情况的电压信号。以FPGA为数字信号处理平台，设计了信号生成电路、自适应

正交解调电路和校正电路，实现了对微陀螺仪信号的解调和处理。结合A／D和D／A变换，构建了微陀螺仪闭环检测系统。试验结果

表明，在设计的闭环检测平衡回路控制下，微陀螺仪的标度因数线性度和对称性较开环检测时均有较大程度的提高，测量范围、阅值

和分辨率等性能指标也得到了不同程度的改善。

关奠词：微陀螺仪FPGAMEMS控制系统现场可编程门阵列平衡回路数字信号处理闭环检测模数转换

中圈分类号：TH一3；TP271文献标志码：ABOI：10．16086／j．cnki．issnl000一0380．201607013

attheofdetectionforthebagisofthemicro—structureofbalance

Abstract：Ainlingdeficiencyopen—loopmicro—gyroscope。oncapacitance

based

combdetectionandcontrolschemeonFPGAisforward．Thetransformationand

teeth-thecapacitance／voltage

closed—loopput

circuitarethethevibrationofcombteethistheFPGA鹪the

conditioningdesigned。andvoltagesi掣lalreflectinscapacitanceaoquired．With

are

digit8ldemodulationcircuitandcorrectioncircuit

si叫processingplatform．thesi叫generatingcircuit。adaptiveorthognnaldesigned，and

thedemodulationandoftheofarewithA／DandD／Aclosed

conversion-the

processingsignalsmicro—gyroscopeimplemented．Combiningloop

detectionofmicroisconstructed．Theresultsshowthatunderthecontrolofcloseddetectionbalance

systemgyroscopeexperimentallooploop-

of

theandofthescalefactorsofmicroarebetterthanthosedetection．The

llnearitysym