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时栅位移传感器的误差分离与补偿方法研究彭东林，等

时栅位移传感器的误差分离与补偿方法研究

ResearchonErrorand

SeparationCompensation

forSensor

AngularDisplacement

Time—grating

彭东林办世跋高密华酵锡侯饧继森邳方蒸

(重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心，重庆400054)

摘要：为进一步提高时栅角位移测龋系统的测量精度，降低生产成本和生产时间，根据时栅传感器的误差组成和误差特性，提m了

一种新的误差补偿方法；同时建立了基于傅里叶函数的误差分离模型。该补偿方法将沿宅问正弦分布的非线性误差转化成线性误

差，并运用最zl,_-乘法理论对系统的误差进行补偿。通过试验与测试证明，采用该方法进行误差补偿可以大幅度提高时栅角位移测

量系统的测昔精度。

关键词：时栅位移传感器谐波最小二乘法误差分离误差补偿

中图分类号：僦+．2文献标志码：A，

Abstract：Toful曲ffroftheIefhlcethec傩tand

improve黼men|accuracytime·gramlgm哇，llardisplacementmeaningsystem，andproduction

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Keywords：Time—gratingDisplacementLeast-squareseparationcompensalion

分离为rl,次误差谐波的叠加之和161。因此，运用傅里

0引言

叶级数分离法，测角系统的误差公式可表示为：

△6=80+6I

时栅传感器是一种全新的位移传感器¨。2J，它实sina+…+6。sinna=