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基于微加工技术的微纳复合制造：原理、工艺与微能源系统应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，微纳制造技术作为现代制造业的前沿领域，正以前所未有的速度推动着众多行业的变革与创新。微纳制造技术，是指在微米和纳米尺度范围内，对材料进行加工、制造和操控，以构建具有特定功能的微纳结构、器件和系统的技术。凭借其能够实现微小尺寸、高精度和多功能集成的显著优势，微纳制造技术在生物医学、信息技术、航空航天等众多领域都得到了极为广泛的应用，为这些领域的发展注入了强大的动力，成为推动现代科技进步的关键力量之一。

随着物联网、可穿戴设备、微型传感器等新兴技术的蓬勃兴起，微能源系统作为其核