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基于点衍射干涉仪的波前测试技术研究

摘要

本文深入研究基于点衍射干涉仪的波前测试技术。详细阐述点衍射干涉仪的工作原理，提出并分析波前测试方案，对关键器件如准直物镜、点衍射板等进行研制与设计。开展关键技术研究，包括离轴抛物镜实验、点衍射板参数测量等。通过四相位拼接算法和改进的坐标变换法进行相位恢复，实现圆载频干涉图的有效恢复。利用点衍射干涉仪对平行光管准直物镜及近红外光出射波前进行测量，并与其他测量设备对比分析测量结果，深入探讨误差来源，为该技术的进一步优化与应用提供坚实基础。

关键词

点衍射干涉仪；波前测试；相位恢复；误差分析

一、引言

在现代光学领域，波前检测对于评估光学系统性能、确保光学元件面形精度等至关重要。点衍射干涉仪作为一种高精度的干涉检测设备，以其独特的原理和优势，在波前测试中占据重要地位。它利用波长量级的针孔或类似微小结构产生近乎理想的球面波作为参考波前，突破了传统干涉仪中参考光学元件加工精度的限制，能够实现高精度的波前检测。相较于其他干涉检测仪器，点衍射干涉仪具有结构紧凑、对环境振动不敏感、对光源相干度要求较低等优点，使其在众多领域得到广泛应用，如光刻技术、空间光学、生物检测以及显微技术等。随着科技的不断发展，对光学系统精度的要求日益提高，深入研究基于点衍射干涉仪的波前测试技术具有重要的现实意义。

二、波前检测方法概述

2.1常见波前检测方法

在光学检测领域，存在多种波前检测方法。干涉测量法是其中应用最为广泛的一类，除了本文重点研究的基于点衍射干涉仪的方法外，还包括迈克耳逊干涉仪、泰曼-格林干涉仪以及菲佐干涉仪等。迈克耳逊干涉仪通过分束器将一束光分为两束，分别经过不同路径后再重新叠加产生干涉条纹，根据条纹变化来检测波前。泰曼-格林干涉仪是迈克耳逊干涉仪的改进型，它在其中一条光路中加入被测光学元件，通过干涉条纹分析被测元件引入的波前变化。菲佐干涉仪则常用于检测光学表面的面形，其参考面与被测面紧密平行放置，利用两者反射光的干涉来获取面形信息。此外，还有像差检测法，如哈特曼-夏克波前传感器，通过测量波前经过微透镜阵列后的光斑位置偏移来计算波前像差。

2.2点衍射干涉仪概述

点衍射干涉仪最早由Linnik于1933年提出，但其具体实施直到1975年才由Smart和Steel完成。它是一种双光束干涉仪，参考光束通过小针孔或光纤末端的衍射产生。在针孔点衍射干涉仪中，聚焦透镜将入射的待测波前聚焦到加工有极小针孔的点衍射板上，在点衍射板上形成点像弥散斑（即包含波像差的点光源的像）。点衍射板一般由吸收薄膜加工而成，待测波前透过点衍射板后，振幅衰减而相位（波前形状）不变，形成检测波前。当针孔直径在波长量级时，其远场的衍射波前相对于理想球面波的偏离量小于万分之一波长，该衍射波前作为干涉检测中的标准参考波前。检测波前与参考波前在点衍射板后方干涉产生干涉条纹，通过对干涉条纹的分析即可对待测波前进行检测。点衍射干涉仪分为点衍射共路干涉仪和点衍射非共路干涉仪。共路干涉仪结构简单紧凑，对环境振动不敏感，对光源相干度要求低，甚至可使用星光光源，无需满足传统干涉仪特殊的干涉结构要求，测试光学元件或系统结构自由度大。非共路干涉仪利用波长量级的微孔产生高质量参考球面波前，无需精密加工的标准平面镜或标准球面镜，可突破标准光学元件加工精度对检测系统精度的限制，实现亚纳米级精度检测。

2.3各种波前检测方法对比

迈克耳逊干涉仪结构相对简单，但两束光的光程差易受环境因素影响，导致干涉条纹稳定性较差，在高精度波前检测中存在一定局限性。泰曼-格林干涉仪对环境要求较高，需要严格的隔振和温控措施，否则难以保证测量精度。菲佐干涉仪的测量精度受参考面精度限制，若参考面存在加工误差，会直接影响测量结果。哈特曼-夏克波前传感器虽能快速测量波前像差，但对于波前细节的分辨率相对较低。而点衍射干涉仪，尤其是共路结构的点衍射干涉仪，对环境振动不敏感，且能产生近乎理想的参考波前，测量精度高。非共路点衍射干涉仪打破了标准光学元件精度的限制，可实现更高精度的检测。在需要高精度、对环境适应性强的波前检测应用中，点衍射干涉仪具有明显优势。

三、点衍射干涉仪的波前测试方案设计

3.1点衍射干涉仪的基本原理

点衍射干涉仪的基本原理基于光的衍射和干涉现象。如前文所述，待测波前经聚焦透镜聚焦到点衍射板上，点衍射板上的针孔对部分待测光进行衍射。根据波动光学理论，当针孔尺寸与波长量级相近时，会产生高质量的球面衍射波前，该波前作为参考波前。而透过点衍射板未发生衍射的待测光，其波前形状基本保持不变，作为检测波前。这两束波前在点衍射板后方相遇并发生干涉，由于它们具有相同的频率和稳定的相位差，在干涉区域形成干涉条纹。干涉条纹的形状、间距和对比度等信息与两束波前的相