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三氯氢硅生产技术及其反应器研究.pdf

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    一三氯氢硅简介

    三氯氢硅

    别名：硅氯仿、硅仿、三氯硅烷

    用途：单晶硅原料、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮

    化合物制造、电子气。

    理化性质

    分子量：135.43

    沸点(101.325kPa)：31.8℃；液体密度(0℃)：

    1350kg/m3；相对密度(气体，空气1)：4.7；蒸气压(-

    16.4℃)：13.3kPa；(14.5℃)：53.3kPa；燃点：-27.8℃；

    自燃点：104.4℃；闪点：-14℃；下限：9.8%；毒性

    级别：3；易燃性级别：4；易爆性级别：2

    三氯硅烷

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